SiO2+2C=(高温)Si +2CO Si(粗硅)
Si+ 2Cl2 =(高温) SiCl4 SiCl4 是液体,蒸馏得到高纯SiCl4 溶液.SiCl4+ 2H2 = (加热)Si + 4HCl 这里的Si是高纯硅.