对于下沉式卫生间，其防水、上水和回填的顺序如下：
先进行防水施工，这是必须的步骤。一般需要进行两遍防水涂料，且需要连着墙体一起进行，墙体的高度需要高出沉箱上沿40厘米以上。做完防水后，还需要进行至少48小时的闭水试验，确保不漏水。
完成防水后，再进行回填。在回填之前，需要将沉箱清理干净，并固定好进水和出水管道，避免在回填时碰动管道。回填的材料一般可以选择轻质陶粒。
回填完成后，还需要再做一次防水，以确保防水效果。
最后，需要进行上水施工，包括安装水管、水龙头等设施。
这样的顺序可以确保卫生间在使用过程中的防水效果，同时也可以避免在回填和上水施工过程中对防水层造成破坏。
