哈工大光刻机是100 国产吗（哈工大7纳米光刻机是真的吗）

哈尔滨工业大学光刻机是100%国产。

中国光刻机技术取得突破性进展，哈工大成功破解了EUV光刻机的生产结构，解决了光刻机重点的"卡脖子"难题，即物理光源问题，可以说中国光刻机技术已经飞跃。

中南大学相关研究领域也成功破解了EUV光刻机的生产结构。