
主要有以下几点:
1、光刻机的精度要求很高,需要精确控制光刻机的运动;
2、光刻机的分辨率要求也很高,需要使用高精度的光刻头;
3、光刻机的稳定性要求也很高,需要精确控制光刻机的温度和湿度;
4、光刻机的操作要求也很高,需要熟练掌握光刻机的操作流程。

主要有以下几点:
1、光刻机的精度要求很高,需要精确控制光刻机的运动;
2、光刻机的分辨率要求也很高,需要使用高精度的光刻头;
3、光刻机的稳定性要求也很高,需要精确控制光刻机的温度和湿度;
4、光刻机的操作要求也很高,需要熟练掌握光刻机的操作流程。