灭菌时间30～60分钟。熏蒸消毒法是将消毒剂(临床常用的有甲醛和环氧乙烷气体)加热或加入氧化剂，使其产生气体而进行消毒的方法。用于手术室、换药室、病室的空气消毒。
养殖场也会使用熏蒸消毒法。在畜禽养殖中，尤其是禽类养殖中，养殖场的空气消毒是至关重要的环节。一般目前空气消毒的常见方法有甲醛-高锰酸钾熏蒸消毒、过氧乙酸熏蒸消毒及固体消毒剂烟熏消毒。三种空气消毒的消毒剂各有特色，不同的养殖场根据各自不同特点进行选择使用。
目前认为低温甲醛蒸气法属于灭菌法，有效气体浓度3～11mg/L，灭菌温度为50～80℃，灭菌时间30～60分钟。将水煮沸15～20min，普通细菌即可被杀死。
