首先,将单晶晶体切成几个晶片,其中每个晶片都具有硅面,即第一表面。相反的另一面是碳面,称为第二表面。
然后,将晶片的硅面朝下,并置于研磨载台上以执行第一次研磨。要强调的是,在晶片和研磨载台之间存在支撑承载件。承载件可以是凹形或凸形框架。研磨碳面后,取下晶片,脱除承载件,晶片将会在碳面上出现凸形或凹形。
后来,晶片被上下翻转,碳面朝下,放置在一平坦的载台上。最后,将硅面打磨,这是第二次研磨。如此,使用本发明专利技术支撑承载件,可以改善晶片的几何曲率。可以改善晶片的几何曲率。可以改善晶片的几何曲率。