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真空管道压力分类(管道气体压力监测标准)

真空管道压力分类(管道气体压力监测标准)

更新时间:2025-07-11 23:49:03

真空管道压力分类

真空管道压力可以根据其绝对压力水平进行分类。一般来说,根据国际标准ISO 5167,压力可以分为以下几个级别:高真空(10^-3至10^-7帕),超高真空(10^-7至10^-12帕)和极高真空(低于10^-12帕)。这些级别的真空压力对于不同的应用有不同的要求,例如高真空用于电子器件制造,超高真空用于核研究和半导体制造,而极高真空则用于精密实验和空间科学研究。

真空系统按其工作压力分类,可分为:(1)粗真空系统(工作压力大于1330Pa)

;(2)低真空系统(工作压力在1330~0.13Pa)

;(3)高真空系统(工作压力在0.13~1.3×10-5Pa)

;(4)超高真空系统(工作压力在1.3×10-5~1.3×10-10Pa)

;(5)极高真空系统(工作压力低于1.3×10-10Pa)

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