CMP的含义是化学机械抛光(Chemical Mechanical Polishing)。
这个技术在微电子制造中广泛应用,主要用于将硅片表面进行抛光,以达到去除表面缺陷,平整表面,提高芯片品质的目的。
此外,CMP还广泛应用于其他行业领域,如玻璃、金属等材料的抛光。
CMP的含义是化学机械抛光(Chemical Mechanical Polishing)。
原因是,CMP是一种半导体工艺技术,用于平整化、去除和光顺半导体表面上的不规则和杂质,以提高半导体芯片的电子性能。
其中,化学和机械两个步骤是同时进行的,也就是化学机械抛光。
内容延伸:CMP是制造半导体器件的关键步骤之一,其简化了其他的加工步骤,提高了器件的性能。
它不仅被应用于半导体工业,还被用于制造LCD面板、磁盘驱动器、光学设备等。
同时,CMP的技术也在不断地更新和发展,以适应新型材料和更高的工艺要求。