这个问题建议第一步:把所有机械泵与现有的真空系统断开,全部上盲板,看机械泵的真空抽速是否达到要求,如果可以,那就排除机械泵的问题。
第二步:查看罗茨泵的抽速(方法同上)如果没问题看扩散泵,都没问题,那肯定是真空室或者管道够漏气现象。尤其注意经常活动的部位。就这些,说白了就是排除法。这个问题建议第一步:把所有机械泵与现有的真空系统断开,全部上盲板,看机械泵的真空抽速是否达到要求,如果可以,那就排除机械泵的问题。
第二步:查看罗茨泵的抽速(方法同上)如果没问题看扩散泵,都没问题,那肯定是真空室或者管道够漏气现象。尤其注意经常活动的部位。就这些,说白了就是排除法。