光刻机的纳米是什么意思

光刻机的纳米是指光刻机可以实现的最小刻蚀尺寸，单位是纳米（nm）。光刻机可以实现精细的刻蚀，其刻蚀尺寸可以达到几十纳米，甚至更小。光刻机的纳米刻蚀尺寸可以满足不同的制造要求，从而实现精细的制造工艺。