你好，光刻机涉及多个专业，包括：
1. 光学：光刻机使用光学系统进行图案的投射和成像，需要掌握光学原理和光学设计知识。
2. 物理学：光刻机使用激光或光源进行光照，需要了解光的特性、光学器件的原理和性能。
3. 电子工程：光刻机中的控制系统、电路和传感器需要电子工程师进行设计和维护。
4. 机械工程：光刻机的机械部分包括平台、运动系统和结构，需要机械工程师进行设计和制造。
5. 材料科学：光刻机使用的光刻胶和掩膜需要材料科学家进行研发和选择。
6. 化学工程：光刻机中的化学处理步骤，如清洗、显影和腐蚀，需要化学工程师进行设计和优化。
7. 计算机科学：光刻机中的控制软件和图像处理软件需要计算机科学家进行开发和优化。
以上是光刻机涉及的一些主要专业，实际涉及的专业还可能根据光刻机的具体应用领域和功能有所不同。
光刻机涉及机械、光学、计算机、材料学等专业。
