真空热处理不是不变形，只是变形较小。具体的原因如下
1、工件在真空环境下加热，内外温差小，再有就是真空淬火一般是气淬或油淬，组织应力小。导致变形较小
2、真空油淬时还有个问题就是真空状态下基本不产生气泡，各部位冷却速度相对一致。
在热处理变形中有两个概念：组织变形和形状结构扭曲变形。
研究所得的结果是：真空热处理比其他炉型热处理获得同样组织和硬度时，变形最小。即组织变形最小。 对于形状结构变形，真空热处理往往不如其他炉型的热处理变形小，其他炉型的热处理，例如淬火，很容易采用分级、等温、炉外校直等方法来控制变形量，真空淬火由于这些功能的不完善，有时反而会增大。
