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光刻机需要哪些技术(中国光刻机最新消息)

光刻机需要哪些技术(中国光刻机最新消息)

更新时间:2024-08-14 03:08:03

光刻机需要哪些技术

如果单纯从原理的角度来出发,其实光刻机并不复杂。

光刻机,顾名思义,是通过能量光源进行雕刻的一种设备。能了光源比如激光等,目前主要用在芯片的加工生产上。

它需要在极小的空间内完成极为精细的纳米级雕刻。为具备这项能力。需要掌握的核心技术有很多,主要有以下几种。

激光的选用和制备。

激光透镜模组的设计与制作。

高精度晶振电机的制作与设计。

激光能量值和运动路线的控制。

加工空间的净化。

配套的控制程序及硬件。

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