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si在芯片中的作用(光波波长与芯片制程的关系)

si在芯片中的作用(光波波长与芯片制程的关系)

更新时间:2025-01-14 04:49:40

si在芯片中的作用

1. 绝大多数集成电路都是用半导体硅Si作为起始材料

2. SiO2有两个突出的用途。它的绝缘性可以作为保护膜使p-n结免受周围环境杂质的污染。此外,可以用作稳定的、高温掩模材料,能选择性阻挡施主或受主杂质进入不希望掺杂的硅片中。

3. 对于绝缘隔离层,通常采用SiO2和Si3N4 .

4. 掺氧的多晶硅薄膜也可用作相邻导电层间的隔离层

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