将臭氧暴露在0.5 ppm的臭氧水中大约三秒钟可以破坏99％的大肠杆菌。在0.5 ppm的臭氧水中暴露6秒钟可以破坏99.99％。时间和臭氧杀菌浓度是需要多少臭氧的两个主要因素。
如果臭氧浓度较低，则破坏细菌所需的时间更长。以类似的方式，当温度较低时，烹饪肉的时间更长。
在消毒行业中，目标是特定的接触时间或CT值。 CT值通常以mg / min -1的单位给出，相当于ppm x时间CT消毒值是一个数字，告诉您何时将特定类型的病原体“煮熟”或灭活至所需水平。
120℃度高温臭氧能杀死90％的细菌，病毒细菌等在高温下，其体内的蛋白质变性失活，使病毒和细菌死亡，可用来消毒，不过也有些细菌比较顽固，这就是消毒碗柜还分高温和臭氧消毒。
一般的细菌在100度的条件下都会死亡，但是有一些耐热性强的杆菌或者芽孢仍然可以生存，所以会在120度杀菌20分钟左右进行杀菌。
