技术规格
1真空镀膜腔室尺寸不小于Ø350×H350mm
2真空镀膜腔室配有观察窗。
3真空系统为无油系统。
*3.4极限真空:≤5×10-5Pa
*3.5暴露大气10分钟内并充干燥氮气开始抽气,30分钟真空度≤6×10-4Pa,两小时内真空度≤1×10-4Pa。
6设两组蒸碳电极,并配备直径3mm碳棒卡套。蒸发电源为2kW/8V直流恒流电源
技术规格
1真空镀膜腔室尺寸不小于Ø350×H350mm
2真空镀膜腔室配有观察窗。
3真空系统为无油系统。
*3.4极限真空:≤5×10-5Pa
*3.5暴露大气10分钟内并充干燥氮气开始抽气,30分钟真空度≤6×10-4Pa,两小时内真空度≤1×10-4Pa。
6设两组蒸碳电极,并配备直径3mm碳棒卡套。蒸发电源为2kW/8V直流恒流电源