高性能碳化硅,是一种无机物,化学式为SiC,是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑(生产绿色碳化硅时需要加食盐)等原料通过电阻炉高温冶炼而成。
高性能碳化硅在大自然也存在罕见的矿物,莫桑石。在C、N、B等非氧化物高技术耐火原料中,碳化硅为应用最广泛、最经济的一种,可以称为金钢砂或耐火砂。
碳化硅(SiC)是第三代半导体材料代表之一,是C元素和Si元素形成的化合物。跟传统半导体材料硅相比,它具有高临界击穿电场、高电子迁移率等明显的优势,是制造高压、高温、抗辐照功率半导体器件的优良半导体材料,也是目前综合性能最好、商品化程度最高、技术最成熟的第三代半导体材料,与硅材料的物理性能对比,主要特性包括:
(1)临界击穿电场强度是硅材料近10倍;
(2)热导率高,超过硅材料的3倍;
(3)饱和电子漂移速度高,是硅材料的2倍;
(4)抗辐照和化学稳定性好;
(5)与硅材料一样,可以直接采用热氧化工艺在表面生长二氧化硅绝缘层。