
标准 高纯水的国家标准为:GB1146.1-89至GB1146.11-89 ,目前我国高纯水的标准将电子级水分为五个级别:Ⅰ级、Ⅱ级、Ⅲ级、Ⅳ级和Ⅴ级,该标准是参照ASTM电子级标准而制定的。
高纯水的水质标准中所规定的各项指标的主要依据有: 1.微电子工艺对水质的要求; 2.制水工艺的水平; 3.检测技术的现状。
标准 高纯水的国家标准为:GB1146.1-89至GB1146.11-89 ,目前我国高纯水的标准将电子级水分为五个级别:Ⅰ级、Ⅱ级、Ⅲ级、Ⅳ级和Ⅴ级,该标准是参照ASTM电子级标准而制定的。
高纯水的水质标准中所规定的各项指标的主要依据有: 1.微电子工艺对水质的要求; 2.制水工艺的水平; 3.检测技术的现状。